本报讯 近日，从吉林省巨程智造光电技术有限公司（以下简称“巨程智造”）传出好消息，该公司通过自主创新，在氟化钙（CaF2）晶体超精密加工上突破技术壁垒，成功解决一道世界级加工难题，实现全频段亚纳米精度的稳定加工，标志着巨程智造已将氟化钙材料的加工水平推向了亚纳米的全新高度，能够完全满足半导体晶圆明场/暗场检测等核心环节对光学元件的严格要求。
“在高端光学制造领域，材料的加工精度直接决定着尖端装备的性能边界。”公司董事长杨东来介绍说，巨程智造是国家级高新技术企业和省级“专精特新”中小企业，作为光电智造领域里的后起之秀，该公司依托创新团队和从国内外引进的高精尖设备，研制生产出大口径非球面镜、高精度的透镜以及氟化钙的产品等，为长光卫星等国内外知名企业配套，国内外订单量逐年增加。
“巨程智造永远都不会满足于现有的成绩，只有不断地开发新产品，才能增强企业的发展动力。”公司副总经理李薇介绍说，φ27mm氟化钙双凸透镜就是我们的研发团队通过自主创新研制的新产品。氟化钙晶体因其独特的透光特性和低非线性效应，成为半导体晶圆检测、深紫外光刻、高端显微等系统中不可或缺的光学材料。然而，由于其质地柔软、易潮解、加工易产生损伤等特性，使得氟化钙晶体实现高精度、高表面质量的加工成为世界级难题。为攻克这一“拦路虎”，从2024年3月开始，巨程智造组织研发团队进行技术攻关，历时约216天，研发团队凭借深厚的工艺积累与自主创新精神，成功攻克了这道世界级难题。该产品经过全工序打磨与检测中心严格认证，其面型精度、局部光洁度等关键性能数据彰显了卓越水准。这款透镜不仅实现了纳米级的面型控制，更在关键通光区域内达到了极高的洁净度标准，确保其在复杂光学系统中能够传输无失真、无杂散光的高质量波前，为检测设备的分辨率和信噪比提供核心保障。
“这次技术突破与新产品的成功研发，意味着国内半导体设备厂商在核心光学元件的供应链上拥有了一个技术领先、质量可靠、响应迅速的顶级选择，巨程智造将持续聚焦于超精密光学技术的创新与迭代，致力于成为全球高端装备制造商最值得信赖的合作伙伴。”杨东来坚定地说。（王钰焯）
